PVD涂層是工業(yè)生產(chǎn)常用的刀具涂層，也是發(fā)展時(shí)間較長(zhǎng)的刀具涂層，在切削刀具、工模具等精加工行業(yè)有廣泛應(yīng)用。不過，隨著工業(yè)化生產(chǎn)水平的提高，對(duì)于刀具涂層的要求也越來越高。盡管制備方法在不斷進(jìn)步，然而制備過程中依然難免會(huì)存在某些缺陷，這也是不可避免的。下面，小編為大家分享一下制備PVD涂層有哪些常見表面缺陷吧，希望生產(chǎn)者在制備過程中多關(guān)注。

　　一、PVD涂層制備過程中的常見表面缺陷

　　1、大液滴

　　是PVD涂層制備過程中，高能離子轟擊靶材獲得高沉積效率工況下的典型缺陷，一般顆粒的三維尺寸比較均勻，大于1.5um，是嚴(yán)重影響刀具加工精度的涂層缺陷，對(duì)刀具的重復(fù)定位精度和加工件的表面質(zhì)量有影響。

　　2、結(jié)瘤與片狀凸出

　　是由于真空室內(nèi)的顆?；蛘呋w表面的顆粒在涂層沉積以前附著在基體表面，隨著沉積存在于涂層當(dāng)中，往往是較為松軟的涂層缺陷，缺陷的面積尺寸往往大大的大于高度，在使用中易于剝落。

　　3、空洞或盤形坑

　　PVD涂層中存在與涂層的結(jié)合不牢的外來顆粒在高應(yīng)力作用下進(jìn)行自發(fā)脫落，形成空洞缺陷；基體之間存在污染，在真空室冷卻時(shí)由于熱應(yīng)力作用而脫落形成盤形坑或暴露基體缺陷。

　　4、針孔或氣泡

　　當(dāng)基體表面存在狹窄的凹坑時(shí)，涂層沉積過程中在凹坑邊優(yōu)先生長(zhǎng)，逐漸形成涂層針孔缺陷，而進(jìn)行表面拋光處理時(shí)，這種缺陷表面一層薄薄的涂層被磨掉，暴露出來。氣泡是100-400nm微顆粒，真空室內(nèi)形成片狀，當(dāng)他們穿過等離子體時(shí)可以得到電荷，這種離子能夠到達(dá)基體表面，并且在電荷的作用下被固定在基體表面，沉積過程中形成氣泡式缺陷。

PVD涂層

　　二、處理PVD涂層表面缺陷的常用方法

　　1、真空拋光處理

　　真空腔體以及內(nèi)部部件的氣體放出量，和材料的表面積直接相關(guān)。固體表面的原子密度大約為2×1019 m-2，考慮到表面的凹凸不平，實(shí)際的固體表面會(huì)吸附大量的氣體分子。通過拋光使表面更加平坦，可以大大減小表面積，從而減少表面吸附的氣體分子。拋光主要有玻璃丸噴砂和電解拋光兩種手法。

　　2、超聲波清洗

　　超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對(duì)液體和污物直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的。向液體導(dǎo)入超聲波后，液體的激烈運(yùn)動(dòng)使局部產(chǎn)生壓強(qiáng)差。壓強(qiáng)低的部分會(huì)產(chǎn)生大量的氣泡，當(dāng)壓強(qiáng)重新升高時(shí)，這些氣泡會(huì)在瞬間破裂，從而在液體中產(chǎn)生沖擊波。沖擊波會(huì)將固體表面的油污剝離。超聲波清洗用的液體一般采用酒精或丙酮。經(jīng)過超聲波清洗的部件放到大氣中后，酒精或丙酮會(huì)立刻蒸發(fā)，不會(huì)在部件表面留下水垢。