PVD涂層工藝在各個(gè)技術(shù)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，其應(yīng)用涉及范圍從相對(duì)簡(jiǎn)單的材料表面處理，一直到高技術(shù)領(lǐng)域。PVD涂層的工藝特點(diǎn)是通過熱能或通過粒子轟擊來實(shí)現(xiàn)金屬、合金或化合物高真空環(huán)境下的沉積過程。由于一般PVD涂層基體均為高速鋼或硬質(zhì)合金，尤其硬質(zhì)合金的涂層過程控制要求尤為嚴(yán)格，所以其過程的控制提出了嚴(yán)格要求。下面，小編為大家分享一下PVD涂層質(zhì)量控制要點(diǎn)有哪些吧。

　　一、入廠檢查

　　此工序的任務(wù)是核對(duì)待涂層產(chǎn)品數(shù)量、檢查產(chǎn)品可涂性、裝載、填寫流程跟單，輸入數(shù)據(jù)庫(kù)記錄入廠檢查信息。其中關(guān)鍵的質(zhì)量控制點(diǎn)為可涂性的檢查和記錄、后續(xù)工藝處理流程的填寫?？赏啃詸z查包括對(duì)基體材質(zhì)的識(shí)別、表面處理狀態(tài)的識(shí)別、外形輪廓、有無冷卻孔等，其中特別要注意表面發(fā)黑層，對(duì)于此類工件一般不適合后續(xù)涂層。后續(xù)工藝流程的填寫需要生產(chǎn)經(jīng)理確認(rèn)方可實(shí)施轉(zhuǎn)序，對(duì)于不同的基體材質(zhì)和記錄信息進(jìn)行綜合判定后實(shí)施裝載和轉(zhuǎn)序。

　　二、脫膜處理

　　此工序的任務(wù)是對(duì)于高速鋼或模具鋼類工件進(jìn)行脫膜處理，所以前期的材質(zhì)識(shí)別很關(guān)鍵，否則會(huì)造成待涂層產(chǎn)品報(bào)廢。一般按照要求的配比進(jìn)行脫膜，啟動(dòng)脫膜工藝前要確認(rèn)工藝參數(shù)是否符合要求，避免對(duì)基體材質(zhì)造成損傷。

　　三、前處理

　　此工序的任務(wù)是對(duì)于不同的基體進(jìn)行處理，一般有玻璃珠噴砂和金剛砂噴砂，不同的粒度對(duì)基體的處理程度也不相同，所選用的噴砂工藝取決于不同的基體材質(zhì)。其中關(guān)鍵的質(zhì)量控制點(diǎn)是二人確認(rèn)程序質(zhì)量管理制度。

　　基體材料的質(zhì)量和潔凈度很大程度上決定了涂層的質(zhì)量。判定涂層好壞的標(biāo)準(zhǔn)有其表面的粗糙度，其表面的粗糙度很大程度上取決于所處理基體材料表面的粗糙度，因?yàn)閷?duì)于薄膜材料它的組織結(jié)構(gòu)為仿型組織結(jié)構(gòu)。涂層的目標(biāo)是獲得光滑的表面以生產(chǎn)良好的界面。

PVD涂層

　　四、清洗

　　此道工序的主要任務(wù)是對(duì)涂層前的工件表面進(jìn)行清洗，剔除表面的異物包括油污、重度粒子等。

　　其關(guān)鍵的質(zhì)量控制點(diǎn)是對(duì)清洗質(zhì)量的控制，包括清洗劑的配比監(jiān)控、清洗噴頭的角度監(jiān)測(cè)等，清洗完后的目測(cè)檢查若是還不足于檢查表面的清洗質(zhì)量，可以增加表面能的檢測(cè)，現(xiàn)在只限于研發(fā)人員使用此類檢測(cè)方法。

　　五、運(yùn)行涂層工藝

　　PVD涂層工藝包括抽真空-加熱-蝕刻-涂層-冷卻。其中采用程序軟件進(jìn)行自動(dòng)控制，要求對(duì)基體材料的溫度、陰陽(yáng)極電壓參數(shù)的變化情況、真空度的變化情況等進(jìn)行程序軟件自動(dòng)化記錄以便于后續(xù)的追溯。PVD涂層質(zhì)量?jī)?yōu)劣從有關(guān)基體溫度、氣壓、沉積速率等參數(shù)的變化可以看出一些跡象。

　　真空設(shè)備很大程度上影響著涂層質(zhì)量?jī)?yōu)劣，必須確保涂層環(huán)境中穩(wěn)定、潔凈，如果涂層環(huán)境中夾雜進(jìn)污物或者過多的飛濺顆粒，將嚴(yán)重影響涂層的結(jié)構(gòu)和質(zhì)量，所以開爐前的清理工作很重要，夾具的定期維護(hù)需要多加關(guān)注，爐腔內(nèi)的電氣元件狀態(tài)檢查也尤為重要，對(duì)上一批次的殘氣檢查也很關(guān)鍵。

　　六、后處理

　　根據(jù)涂層產(chǎn)品應(yīng)用環(huán)境可以選擇進(jìn)行后處理，以改善表面的光潔度，也可以對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行退磁處理，以防止加工鐵屑的粘附傾向。

　　以上就是PVD涂層質(zhì)量控制要點(diǎn)有哪些的相關(guān)內(nèi)容介紹，通過上文可知，在制備PVD涂層產(chǎn)品過程中，每道工序都要做好，確保PVD涂層質(zhì)量達(dá)標(biāo)。