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淺析磁控濺射可制備哪幾類刀具涂層?

作者:admin 瀏覽量:13 來源:本站 時間:2024-09-10 09:53:14

信息摘要:

當(dāng)前涂層生產(chǎn)行業(yè)常用的鍍膜技術(shù)就是物理氣相沉積法(PVD)和化學(xué)氣相沉積法(CVD)兩種,隨著技術(shù)發(fā)展,科研成果進(jìn)一步提升,在這兩大涂層技術(shù)上衍生出了許多分支,并且相互交融、促進(jìn),磁控濺射技術(shù)就是其中的代表。磁控濺射屬于物理氣相沉積法的一種,也是一種真空鍍膜

 

       當(dāng)前涂層生產(chǎn)行業(yè)常用的鍍膜技術(shù)就是物理氣相沉積法(PVD)和化學(xué)氣相沉積法(CVD)兩種,隨著技術(shù)發(fā)展,科研成果進(jìn)一步提升,在這兩大涂層技術(shù)上衍生出了許多分支,并且相互交融、促進(jìn),磁控濺射技術(shù)就是其中的代表。磁控濺射屬于物理氣相沉積法的一種,也是一種真空鍍膜技術(shù),在材料表面處理、微電子領(lǐng)域等方面都有廣泛且成功的應(yīng)用,并且磁控濺射的應(yīng)用范圍還在不斷擴(kuò)展。磁控濺射制得的刀具涂層膜基結(jié)合強(qiáng)度高、可設(shè)計性好,適用性強(qiáng)。下面,小編為大家分析一下磁控濺射可制備哪幾類刀具涂層吧。

 

  一、硬質(zhì)刀具涂層的制備

 

  氮化鈦涂層是首先實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化并且廣泛應(yīng)用的硬質(zhì)涂層材料,該涂層材料硬度高,具有較好的抗磨損性能,在氮化鈦涂層的基礎(chǔ)上添加鋁元素,可制得氮鋁化鈦涂層,這種涂層具有更高的硬度和耐熱性能。

 

  目前可以用磁控濺射等多種PVD的方法制備出氮鋁化鈦薄膜,通過調(diào)節(jié)鈦元素和鋁元素的相對含量可以得到不同性能的薄膜,至高硬度可到4500HV,耐熱溫度可達(dá)700℃。在氮鋁化鈦鍍層中加入鉻玩素,可以得到氮化鈦鋁鉻鍍層,該鍍層比氮鋁化鈦鍍層具有更高的硬度,并且使用溫度更高,達(dá)到900℃,可以滿足苛刻條件下加工要求。

 

  二、超硬刀具涂層的制備

 

  一般把硬度超過40GPa的材料叫做超硬材料。隨著現(xiàn)代制造業(yè)的進(jìn)步,難加工材料越來越多,對金屬切削刀具提出了越來越苛刻的技術(shù)要求??蒲泄ぷ髡咴诔脖∧げ牧戏矫嬉踩〉昧撕芏喑晒?。

 

  1、金剛石涂層

 

  目前制備金剛石涂層的方法很多,多為CVD方法。通過磁控濺射的方法,采用射頻電源用反應(yīng)磁控濺射的方法可以得到金剛石涂層。

 

  2、類金剛石涂層

 

  類金剛石涂層是目前研究較多且應(yīng)用較廣的一種超硬涂層。類金剛石涂層具有很低的摩擦系數(shù)、高硬度以及良好的耐腐蝕、光透光率等一系列優(yōu)異性能,因此其應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大。

 

  類金剛石涂層制備的方法很多,如磁控濺射、離子束濺射、激光束蒸發(fā)、脈沖高能量密度等離子體技術(shù)等物理氣相沉積方法以及化學(xué)氣相沉積方法如:微波等離子體CVD. 熱絲CVD、射頻輝光等離子體CVD、電子回旋共振CVD等。在所有技術(shù)中,磁拉濺射法具有沉積溫度低、沉積速率較高、沉積薄膜光滑致密、均勻、結(jié)合力好、在較高真空下工作因而薄膜質(zhì)量較高、容易摻雜并能夠精確控制摻雜量等優(yōu)點,是應(yīng)用非常多的方法之一。

 

磁控濺射可用于制備哪幾類刀具涂層

  三、自潤滑刀具涂層的制備

 

  目前,刀具涂層的發(fā)展存在兩種趨勢,一種是提高硬度,開發(fā)超硬涂層;另一種是減小涂層摩擦系數(shù),開發(fā)自潤滑涂層。

 

  自潤滑涂層可以減少刀具與工件之間的摩擦,提高刀具使用壽命,并且可以少用或不用潤滑介質(zhì),不僅可以減少加工成本,而且可以實現(xiàn)“綠色生產(chǎn)”。

 

  1、類石墨涂層

 

  類石墨涂層硬度較高且摩擦系數(shù)低,具有很好的抗?jié)裥裕瘜W(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會與重金屬發(fā)生觸媒效應(yīng),多應(yīng)用于干切削加工。

 

  目前利用直流磁控濺射石墨靶的方法可以得到類石墨涂層,并已經(jīng)成功實現(xiàn)工業(yè)化應(yīng)用。

 

  2、二硫化鉬復(fù)合涂層

 

  二硫化鉬具有很低的摩擦系數(shù),是一種常用的固體潤滑材料。如果能使二硫化鉬彌散分布在硬質(zhì)涂層中,則可以在不降低硬度或稍微降低硬度的前提下顯著降低摩擦系數(shù),得到自潤滑涂層。

 

  利用非平衡磁控濺射的方法制備的氮化鋁鈦鉻/二硫化鉬復(fù)合涂層,與單一硬質(zhì)涂層相比,雖然硬度有所降低,但是摩擦系數(shù)大大降低,磨損率也大為降低。

 

  以上就是磁控濺射可制備哪幾類刀具涂層的相關(guān)內(nèi)容介紹。通過上述內(nèi)容可知,磁控濺射能夠在物理和化學(xué)兩大氣相沉積法中使用,技術(shù)多樣,可制備的刀具涂層種類很多,并且制備的涂層質(zhì)量很好,應(yīng)用廣泛。材料科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)各種類型的涂層產(chǎn)品,在刀具涂層方面獨樹一幟,引入先進(jìn)工藝,優(yōu)選高質(zhì)量靶材,生產(chǎn)的涂層質(zhì)量優(yōu)異,性能可靠,歡迎有需要的客戶致電咨詢。


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