多弧離子鍍是采用電弧放電的方法,在固體的陰極靶材上直接蒸發(fā)金屬,從而在基材表面沉積成為涂層的方法。其蒸發(fā)物是從陰極弧光輝點放出的陰極物質的離子,在氣體離子或被蒸發(fā)物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發(fā)物或反應物沉積在基體上。多弧離子鍍與磁控濺射鍍膜技術都屬于PVD涂層制備方法的一種,在涂層行業(yè)得到廣泛應用。接下來,小編為大家分享一下多弧離子鍍涂層形成機理及其技術特點吧。
一、多弧離子鍍制備涂層的形成機理
多弧離子鍍技術的工作原理主要基于冷陰極真空弧光放電理論。鋼樣放入電弧離子機中,陰極電弧蒸發(fā)源電離,即點燃真空電弧后,陰極靶材表面上出現(xiàn)一些不連續(xù)的、大小和形狀多樣的、明亮的斑點。它們在陰極表面迅速地做不規(guī)則的游動,一些斑點熄滅時又有些斑點在其他部位形成,維持電弧的燃燒。陰極斑點的電流密度達104~105A/cm2,并且以1000m/s的速度發(fā)射金屬蒸氣,其中每發(fā)射10個電子就可發(fā)射1個金屬原子,然后這些原子再被電離成能量很高的正離子,正離子在真空室內運行時與其他離子結合,沉積在工件表面形成涂層。
真空弧光放電理論認為電量的遷移主要借助于場電子發(fā)射和正離子電流,這兩種機制同時存在,而且相互制約。在放電過程中,陰極材料大量蒸發(fā),這些蒸發(fā)原子產生的正離子在陰極表面附近很短的距離內產生極強的電場,在這樣強的電場作用下,電子足以能直接從金屬的費米能級逸出到真空,產生所謂的“場電子發(fā)射”。
二、多弧離子鍍制備涂層的技術特點
多弧離子鍍過程的突出特點在于它能產生由高度離化的被蒸發(fā)材料組成的等離子體,其中離子具有很高的動能。蒸發(fā)、離化、加速都集中在陰極斑點及其附近很小的區(qū)域內。其特點如下:
1、從陰極直接產生等離子體,不用熔池,陰極靶可根據(jù)工件形狀在任意方向布置,使夾具大為簡化。
2、入射粒子能量高,涂層的致密度高,強度和耐久性好。
3、離化率高,一般可達60%~80%。
4、蒸鍍速率快、繞鍍性好,在實際應用時有很大優(yōu)勢。
5、設備較為簡單,采用低電壓電源工作比較安全。
6、一弧多用,電弧既是蒸發(fā)源和離化源,又是加熱源和離子濺射清洗的離子源。
7、外加磁場可以改善電弧放電,使電弧細碎,細化涂層微粒,增加帶電粒子的速率,并可以改善陰極靶面刻蝕的均勻性,提高靶材的利用率。
上述即是多弧離子鍍涂層形成機理及技術特點的相關介紹,可以看出,多弧離子鍍制備涂層有著科學的理論依據(jù),同時有很多優(yōu)勢特點,因此得到廣泛使用。材料科技在多弧離子鍍膜技術方面有著深厚研究,采用優(yōu)質的多弧離子鍍膜機,制備的PVD涂層質量優(yōu)異,性能可靠,歡迎有需要的客戶致電咨詢。